1.1：CX粗糙度輪廓測(cè)量?jī)x是公司開(kāi)發(fā)的精密測(cè)量一體機(jī)。是測(cè)量輪廓形狀及表面粗糙度的，具備分析測(cè)量輪廓形狀和表面粗糙度的強(qiáng)大功能。實(shí)現(xiàn)尺寸、形狀、粗糙度三個(gè)要素的精準(zhǔn)測(cè)量。用于測(cè)量各種零件的直線度、傾斜度、角度處理、圓度處理、雙溝處理、雙圓弧處理等機(jī)械零件表面微觀幾何結(jié)構(gòu)和宏觀幾何形狀的參數(shù)。該系統(tǒng)采用進(jìn)口扇形光柵采集數(shù)據(jù)，測(cè)量量程大、精度高，可靠性強(qiáng)，穩(wěn)定性好，整體系統(tǒng)裝調(diào)方便、操作簡(jiǎn)單、用戶只需開(kāi)機(jī)-放入樣品-測(cè)試進(jìn)行-輸出結(jié)果即可，測(cè)量效率高，設(shè)備可連續(xù)運(yùn)行200小時(shí)以上。 1.2：我公司在儀器的設(shè)計(jì)制造中始終堅(jiān)持以人為本，把操作使用人員的安全放在首位，儀器整體及其零部件都具有足夠的強(qiáng)度、剛度和穩(wěn)定性，儀器在使用(運(yùn)行)時(shí)安全防護(hù)措施符合國(guó)家相應(yīng)的安全標(biāo)準(zhǔn)，不會(huì)對(duì)人員造成危險(xiǎn)。 1.3: 該儀器的電器設(shè)計(jì)，機(jī)械結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)與制造完全符合國(guó)家現(xiàn)行的綠色環(huán)保要求，儀器無(wú)有害排放物，儀器產(chǎn)生的噪音符合國(guó)家的環(huán)保法律法規(guī)要求，儀器在生產(chǎn)制造過(guò)程中所采用的電器零部件符合RoHS的一般要求；儀器的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)滿足國(guó)家相關(guān)質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)，行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，制造方標(biāo)準(zhǔn)；儀器整體符合國(guó)家產(chǎn)品能源消耗限額標(biāo)準(zhǔn)。 1.4：軟件系統(tǒng)主要由以下部分組成： 1.41 文件管理模塊：實(shí)現(xiàn)對(duì)測(cè)量數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)、調(diào)用、打印等功能； 系統(tǒng)設(shè)置模塊：實(shí)現(xiàn)對(duì)設(shè)備參數(shù)、測(cè)量顯示參數(shù)、用戶打印信息的設(shè)定，及系統(tǒng)參數(shù)和測(cè) 頭半徑的標(biāo)定與校準(zhǔn)等。輔助模塊：實(shí)現(xiàn)對(duì)測(cè)量數(shù)據(jù)特征點(diǎn)捕捉、圖形擺正、圖形平移及縮放等功能； 1.42 輪廓測(cè)量與標(biāo)注模塊：實(shí)現(xiàn)對(duì)被測(cè)工件輪廓圖形的測(cè)量與顯示，尺寸標(biāo)注、直線度、凸度測(cè)量等； 1.43粗糙度參數(shù)設(shè)置與表征模塊：實(shí)現(xiàn)對(duì)被測(cè)工件表面粗糙度參數(shù)的設(shè)置、評(píng)定、圖形顯示、參數(shù)顯示等； 1.44 視圖模塊：實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)界面顯示外觀、工具欄及狀態(tài)欄的顯示與停靠方式的設(shè)置； 1.45系統(tǒng)幫助模塊：提供軟件系統(tǒng)的使用說(shuō)明。 1.46 軟件系統(tǒng)的主要功能特點(diǎn)： 1.47 多軸步進(jìn)電機(jī)控制信號(hào)，全進(jìn)口光柵脈沖數(shù)字信號(hào)反饋控制，I/O及限位端口等； 1.48表面形狀及粗糙度的自動(dòng)測(cè)量：對(duì)傳感器的數(shù)字采樣信號(hào)進(jìn)行自動(dòng)采集和處理并給出測(cè)量結(jié)果，整個(gè)過(guò)程在計(jì)算機(jī)集成控制下自動(dòng)完成； 1.49 圖形顯示功能：測(cè)量結(jié)果以圖形及列表方式顯示在屏幕上，包括輪廓曲線及測(cè)量過(guò)程中的主要參數(shù)； 1.4-10 測(cè)量輔助功能：實(shí)現(xiàn)測(cè)量數(shù)據(jù)特征點(diǎn)捕捉，圖形的平移、縮放及擺正等功能； 1.4-11 輪廓測(cè)量參數(shù)：主要包括線性距離（水平/垂直/智能距離）、角度（輪廓夾角、水平/垂直角度）、圓（整圓/圓弧/分段圓弧圓心及半徑）、圓弧圓心距、凸度、直線度、交叉雙圓弧（桃形溝道）等參數(shù). 1.4-12粗糙度/波紋度參數(shù)：依據(jù)GB/T3505-2009國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行，主要參數(shù)有：（粗糙度參數(shù)）Ra、Rz、Rq、Rt、Rp、Rv、Rc、Rdc、Rsk、Rku、Rsm、Rmr及Rmr(c)Rzmax；（波紋度參數(shù)）Wa、Wz、Wq、Wt、Wp、Wv、Wc、Wdc、Wsk、Wku、Wsm、Wmr及Wmr(c)等；截至波長(zhǎng)：0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8（mm），評(píng)定長(zhǎng)度：λcX2，3，4，5，6，7，依據(jù)GB/T10610-2009標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行， 1.4-113濾波器；高斯濾波器，圓弧濾波器，2RC濾波器。 1.4-14 系統(tǒng)自動(dòng)標(biāo)定：實(shí)現(xiàn)光柵零位的自動(dòng)尋找與判斷，采用標(biāo)準(zhǔn)量塊及標(biāo)準(zhǔn)球?qū)崿F(xiàn)系統(tǒng)標(biāo)定系數(shù)和測(cè)頭半徑的自動(dòng)修正； 1.4-15打印輸出功能：可按用戶要求的格式和內(nèi)容將測(cè)量結(jié)果以圖形和文本兩種形式進(jìn)行打印輸出，形成零件檢測(cè)報(bào)告； 1.4-16系統(tǒng)界面：采用多種風(fēng)格的圖形用戶界面（GUI），并提供完善的在線幫助系統(tǒng)； 1.4-17 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)功能：系統(tǒng)提供測(cè)量數(shù)據(jù)存儲(chǔ)功能，可將每次的測(cè)量結(jié)果保存于硬盤。 1.4-18直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌位移數(shù)據(jù)采集采用精密直線光柵，定位精度高，穩(wěn)定性好； 1.4-19儀器采用WINDOWS系統(tǒng)操作平臺(tái)，專業(yè)測(cè)量軟件，測(cè)量界面簡(jiǎn)潔直觀，操作便捷； 1.4-20可以實(shí)時(shí)顯示圖形數(shù)據(jù)、存盤留檔、隨時(shí)打印，圖形分析報(bào)告，直觀清晰； 1.4-21 測(cè)量結(jié)果可根據(jù)標(biāo)注需要任意旋轉(zhuǎn)強(qiáng)大的誤差補(bǔ)償功能，使測(cè)量結(jié)果更精確； 1.4-22測(cè)量操作設(shè)置鼠標(biāo)和鍵盤快捷操作，用戶可根據(jù)操作習(xí)慣自由選擇； 1.4-23設(shè)計(jì)特殊裝配夾具，方便工件的裝夾調(diào)整，大大提高了測(cè)量效率； 1.5：輪廓測(cè)量功能的具體描述： 軟件系統(tǒng)界面如圖所示。系統(tǒng)界面主要包括：菜單、工具欄、狀態(tài)欄、圖形顯示區(qū)（輪廓及粗糙度視圖）、標(biāo)注信息區(qū)（輪廓標(biāo)注及粗糙度參數(shù)列表）、系統(tǒng)參數(shù)顯示區(qū)、設(shè)備控制區(qū)。 1）菜單/工具欄：見(jiàn)菜單和工具欄部分相應(yīng)內(nèi)容。 2）狀態(tài)欄：顯示當(dāng)前操作提示、光標(biāo)在圖形顯示區(qū)的坐標(biāo)等信息。 3）系統(tǒng)參數(shù)顯示區(qū)：如圖所示，用于顯示和設(shè)置設(shè)備參數(shù)、測(cè)量參數(shù)及顯示參數(shù)等系統(tǒng)參數(shù)。 4）設(shè)備控制區(qū)：實(shí)現(xiàn)設(shè)備X/Z坐標(biāo)軸的手動(dòng)控制，以及X/Z軸光柵尺的零位 自動(dòng)標(biāo)定。如圖所示： 通過(guò)4向按鈕操作或輕觸測(cè)桿，使光柵讀數(shù)條（Z向光柵）顯示數(shù)據(jù)，表示Z向光柵零位尋找成功，同時(shí)激活X向零位按鈕；按下零位按鈕，系統(tǒng)自動(dòng)進(jìn)行X向光柵零位標(biāo)定。 5）圖形顯示區(qū)：包括輪廓視圖和粗糙度視圖，實(shí)現(xiàn)被測(cè)零件輪廓曲線及標(biāo)注圖形信息、粗糙度/波紋度圖形信息的顯示，是輪廓標(biāo)注和粗糙度/波紋度參數(shù)評(píng)定的主要交互區(qū)。 6）標(biāo)注信息區(qū)：包括輪廓標(biāo)注輸出列表及粗糙度/波紋度參數(shù)列表，是輪廓 標(biāo)注信息和粗糙度波紋度參數(shù)信息的列表顯示，具體信息如圖所示。 1.7：粗糙度測(cè)量功能描述 粗糙度/波紋度參數(shù)：依據(jù)GB/T3505-2009國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行，主要參數(shù)有：（粗糙度參數(shù)）Ra、Rz、Rq、Rt、Rp、Rv、Rc、Rdc、Rsk、Rku、Rsm、Rmr及Rmr(c),Rzmax；（波紋度參數(shù)）Wa、Wz、Wq、Wt、Wp、Wv、Wc、Wdc、Wsk、Wku、Wsm、Wmr及Wmr(c)等；截至波長(zhǎng)：0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8（mm），評(píng)定長(zhǎng)度：λcX2，3，4，5，6，7，依據(jù)GB/T10610-2009標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行； 粗糙度/波紋度：評(píng)定被測(cè)零件粗糙度/波紋度參數(shù)。在輪廓曲線上選取需要評(píng)定的單一線素（直線或圓弧段），系統(tǒng)自動(dòng)根據(jù)用戶選定的評(píng)定參數(shù)及取樣/評(píng)定長(zhǎng)度進(jìn)行參數(shù)值計(jì)算；具體評(píng)定參數(shù)值結(jié)果顯示在粗糙度參數(shù)輸出列表中。 三、粗糙度輪廓儀主要參數(shù): 項(xiàng)目 | 粗糙度評(píng)價(jià) | 輪廓形狀評(píng)價(jià) | 測(cè)量范圍 | Z軸測(cè)量最大高度 | 500mm | X軸測(cè)量最大行程 | 140mm | Z1軸量程 | Ra:0.01-10um， | 30mm （從水平狀態(tài)起±15mm） | 數(shù)據(jù)采集 | X軸：直光柵 | 0.01um | Z1軸：數(shù)字傳感器 | 0.0195um，（美國(guó)MIcroE) | 指示精度 （20℃） | X軸 | ±（0.8＋0.01L）um 寬范圍：1um/100um，窄范圍：0.5um/25um，L=測(cè)量長(zhǎng)度 | Z1軸 | ±（1+2H/100）um，H=從水平位置開(kāi)始的測(cè)量高度 | 移動(dòng)速度 | Z軸 | 0.2-10mm/s電動(dòng)驅(qū)動(dòng) | X軸（橫向測(cè)量速度） | 0.1-10mm/s電動(dòng)驅(qū)動(dòng) | 測(cè)針 | 針尖半徑（R） | 2um | 0.5mm、20um | 材料 | 硬質(zhì)合金 | 硬質(zhì)合金 | 測(cè)力 | 1mN | 30mN | 測(cè)臂 | 長(zhǎng)度 | 150mm | 跟蹤角度 | 向上70°，向下80° 由萬(wàn)向精密工作臺(tái)（傾角范圍±45o）配合調(diào)整 | 評(píng)定指標(biāo) | 截止波長(zhǎng) | 0.025，0.08，0.25，0.8，2.5，8（mm） | 評(píng)定長(zhǎng)度 | λcX2，3，4，5，6，7， | 評(píng)定參數(shù) | 粗糙度評(píng)定參數(shù) | Ra，Rz，Rq，Rt，Rp，Rv,Rc，Rdc，Rsk，RmrRzmax | 波紋度評(píng)定參數(shù) | Pa，Pz，Pq，Pt，Pp，Pv，Pc，Pdc，Pdq，Pqd | 濾波器 | 高斯濾波器，圓弧濾波器，2RC濾波器 | 指示精度 （20℃） | 線性精度 | ≤±（5nm＋2.8％） | 殘值噪聲 | ≤0.005um | 重復(fù)性 | 1δ≤1nm， |
注：粗糙度指示精度條件：1、λc為0.08mm，測(cè)量速度為0.1mm/s，測(cè)量平晶；2、采用Ra為0.35-0.5μm的方波標(biāo)準(zhǔn)件；3、以上參數(shù)均在20℃±1℃，階梯溫度不超過(guò)2℃/8h和地面振動(dòng)最大RMS＜50Hz 2.5μm/s 且 RMS＞50Hz 5.0μm/s的環(huán)境下測(cè)得。 |
